奧林巴斯測量顯微鏡STM7具有多功能性，可以提供高性能的、三軸亞微米級精度的零件、電子元件的測量。無論樣品大或小，簡單或復(fù)雜，初學(xué)者或使用熟練者進(jìn)行測量，奧林巴斯STM7系列，可以配置滿足您需要的測量顯微鏡。

奧林巴斯測量顯微鏡STM7具有優(yōu)良的多用途性，能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對零部件和電氣組件的高性能三軸測量。無論待測樣品是大的還是小的，測量內(nèi)容是簡單的還是復(fù)雜的，測量人員是新手還是專家，奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測量顯微鏡產(chǎn)品。

STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡和測量能力實(shí)現(xiàn)精確測量

多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能

STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被消除，以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。

明場圖像

暗場圖像

微分干涉圖像

偏光圖像

花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺基座增強(qiáng)了測量的可靠性

STM7-LF FEM 分析

為了進(jìn)一步保證測量精度，STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測量可到達(dá)亞微米水平，同時確保大程度地降低誤差。

作為高度測量的先鋒，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量

主動反射，共聚焦自動聚焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

測量顯微鏡溯源系統(tǒng)

奧林巴斯通過一個嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。 并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見問題

短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。

目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時，效率不高。

由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時測量。

STM7解決方案

共有四種正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。

采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭。

300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

STM7-CS50
50mm x 50mm

STM7-CS100
100mm x 100mm

STM7-CS200
200 mm x 200 mm

STM7-CS300
300 mm x 300 mm