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白光干涉儀是如何通過(guò)干涉條紋得到表面輪廓的?

更新時(shí)間:2025-04-03點(diǎn)擊次數(shù):69
  在精密測(cè)量領(lǐng)域,白光干涉儀以其高精度和特殊的工作原理備受矚目。它能夠通過(guò)干涉條紋精確地獲取物體的表面輪廓,這一過(guò)程充滿了科學(xué)的奧秘。
  白光干涉儀主要基于光的干涉原理工作。當(dāng)一束白光照射到被測(cè)物體表面和參考鏡面后,這兩束光會(huì)在空間中相遇并發(fā)生疊加。由于從物體表面反射回來(lái)的光與從參考鏡反射回來(lái)的光在光程上存在差異,根據(jù)光的疊加原理,就會(huì)形成明暗相間的干涉條紋。
  這些干涉條紋蘊(yùn)含著關(guān)鍵的信息。在理想情況下,如果被測(cè)表面是全部平整的,干涉條紋會(huì)呈現(xiàn)出均勻、規(guī)則的形狀。然而,實(shí)際中物體表面不可避免地存在微觀起伏。當(dāng)表面不平整時(shí),不同位置的反射光與參考光的之間的光程差會(huì)發(fā)生變化,從而使得干涉條紋發(fā)生變形。
  通過(guò)捕捉這些變形的干涉條紋,白光干涉儀可以利用專門(mén)的圖像采集設(shè)備將其記錄下來(lái)。接著,借助先進(jìn)的計(jì)算機(jī)算法對(duì)采集到的條紋圖像進(jìn)行分析。算法會(huì)對(duì)條紋的形狀、間距、相位等參數(shù)進(jìn)行精確測(cè)量和計(jì)算。
  在眾多方法中,相位解包裹技術(shù)是一項(xiàng)關(guān)鍵手段。它能夠從測(cè)量得到的包裹相位信息中恢復(fù)出真實(shí)的相位分布,這個(gè)相位分布與物體表面各點(diǎn)的光程差直接相關(guān)。而光程差又與表面的高度變化存在對(duì)應(yīng)關(guān)系。通過(guò)特定的轉(zhuǎn)換公式和數(shù)學(xué)模型,就可以將相位信息轉(zhuǎn)化為物體表面的高度信息。
  最后,經(jīng)過(guò)一系列的數(shù)據(jù)處理和分析,這些高度信息被整合成一個(gè)完整的三維表面輪廓圖??蒲腥藛T和工程師們便可以通過(guò)這個(gè)輪廓圖,清晰、準(zhǔn)確地了解物體表面的微觀形貌特征,為科學(xué)研究、工業(yè)制造等領(lǐng)域提供了有力的支持。
  白光干涉儀細(xì)節(jié)圖展示

  總之,白光干涉儀通過(guò)對(duì)干涉條紋的巧妙分析和處理,成功地從光與光的相互作用中揭示了物體表面的微觀世界,為人類探索和利用微觀形貌開(kāi)辟了新的道路。
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