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當(dāng)前位置:首頁(yè)技術(shù)文章澤攸科技ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡:賦能國(guó)產(chǎn)*端制造的“微觀之眼

澤攸科技ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡:賦能國(guó)產(chǎn)*端制造的“微觀之眼

更新時(shí)間:2025-03-31點(diǎn)擊次數(shù):362

在人工智能、半導(dǎo)體、新材料等前沿領(lǐng)域高速發(fā)展的今天,微觀檢測(cè)技術(shù)的精度直接決定了*端產(chǎn)業(yè)的突破速度。澤攸科技憑借自主研發(fā)的ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡,以納米級(jí)成像能力與工業(yè)級(jí)實(shí)用性的雙重優(yōu)勢(shì),正成為國(guó)產(chǎn)*端儀器領(lǐng)域的標(biāo)*產(chǎn)品,為AI芯片、生物醫(yī)藥、新能源等產(chǎn)業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支持。  

一、技術(shù)突破:從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線的跨越

傳統(tǒng)掃描電鏡因體積龐大、操作復(fù)雜、維護(hù)成本高昂等問(wèn)題,長(zhǎng)期受限于實(shí)驗(yàn)室場(chǎng)景。澤攸科技通過(guò)電子光學(xué)系統(tǒng)自主創(chuàng)新與模塊化設(shè)計(jì),推出*球*一款可規(guī)模化部署的臺(tái)式掃描電鏡系列,實(shí)現(xiàn)三大革命性升級(jí):  

1. 空間效率躍遷

ZEM系列體積僅為傳統(tǒng)設(shè)備的20%,支持在普通實(shí)驗(yàn)室、移動(dòng)檢測(cè)車甚至芯片封裝產(chǎn)線直接部署。其專業(yè)防震設(shè)計(jì)與超快抽真空技術(shù),*底打破百級(jí)潔凈車間限制,使微觀檢測(cè)融入工業(yè)生產(chǎn)全流程。  

2. 多維分析能力

搭載背散射電子(BSE)、二次電子(SE)探測(cè)器及能譜儀(EDS),可同步完成:    • 晶體管三維成像:精準(zhǔn)定位FinFET/GAA結(jié)構(gòu)中的柵極氧化層缺陷(分辨率達(dá)2.5nm);   • 金屬互連層缺陷檢測(cè):識(shí)別銅線路孔洞與電遷移痕跡,預(yù)防AI芯片斷路風(fēng)險(xiǎn);    • 重金屬污染溯源:快速鎖定鐵、鎳等污染顆粒,優(yōu)化晶圓制造工藝。  

3. 動(dòng)態(tài)場(chǎng)景適配  

可選配**原位加熱臺(tái)**實(shí)時(shí)觀測(cè)芯片熱膨脹形變,或通過(guò)**視頻模式**捕捉材料微觀動(dòng)態(tài)演變,為半導(dǎo)體可靠性驗(yàn)證與新材料研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。  

二、產(chǎn)品矩陣:覆蓋全產(chǎn)業(yè)鏈需求

澤攸科技采用階梯式技術(shù)布局,推出五大核心機(jī)型,滿足科研與工業(yè)場(chǎng)景的差異化需求:  

這一產(chǎn)品矩陣已服務(wù)超500家機(jī)構(gòu),包括中科院、華為海思等頭部單位,推動(dòng)國(guó)產(chǎn)芯片出廠缺陷率下降超30%。  

三、應(yīng)用場(chǎng)景:驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)的創(chuàng)新引擎 

ZEM系列通過(guò)“檢測(cè)-反饋-工藝優(yōu)化"閉環(huán),在多個(gè)領(lǐng)域創(chuàng)造顯著價(jià)值:  

1. AI芯片制造 

在深圳“AI公務(wù)員"系統(tǒng)中,ZEM系列解決了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的檢測(cè)盲區(qū),將跨部門任務(wù)分派效率提升80%,并保障政務(wù)AI系統(tǒng)24小時(shí)無(wú)*障運(yùn)行。

2. 新能源材料研發(fā) 

對(duì)磷酸鐵鋰、碳納米管等材料的30000X級(jí)成像分析,助力電池能量密度提升15%,相關(guān)成果發(fā)表于《Advanced Engineering Materials》等頂級(jí)期刊。 

3. 法醫(yī)與生物醫(yī)學(xué)

ZEM18通過(guò)硅藻種類分析、花粉痕跡檢測(cè)等技術(shù),協(xié)助警方破獲多起疑難刑事案件,司法鑒定準(zhǔn)確率達(dá)99.7%。  

4. 航空航天材料

在金屬增材制造(FDM)領(lǐng)域,ZEM系列實(shí)時(shí)觀測(cè)燒結(jié)過(guò)程的微觀結(jié)構(gòu)演變,使薄壁金屬零件的能量吸收能力提升40%,相關(guān)工藝已應(yīng)用于衛(wèi)星載荷支架制造。

四、國(guó)產(chǎn)化突圍:從追趕到*跑

作為國(guó)內(nèi)少數(shù)掌握全鏈條掃描電鏡技術(shù)的企業(yè),澤攸科技通過(guò)三大戰(zhàn)略實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代: 

1. 人才儲(chǔ)備:組建20余人院士專家團(tuán)隊(duì),研發(fā)人員占比超60%;  2. 產(chǎn)學(xué)研融合:與松山湖材料實(shí)驗(yàn)室等十余家機(jī)構(gòu)聯(lián)合攻關(guān),累計(jì)獲得專*200余項(xiàng); 3. 生態(tài)構(gòu)建:推出電子束光刻機(jī)、探針臺(tái)等配套設(shè)備,形成納米技術(shù)全產(chǎn)業(yè)鏈解決方案。  


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